APA:
کپیایلاتی، حسام، باوفا، میثم، و رشیدیان، بیژن. (1386). شبیه سازی فرآیند لایه نشانی سیلیکن آمورف در راکتور PECVD و بررسی اثر فشار محفظه روی خواص لایه نشانده شده. کنفرانس ملی خلاء ایران. SID. https://sid.ir/paper/810241/fa
Vancouver:
کپیایلاتی حسام، باوفا میثم، رشیدیان بیژن. شبیه سازی فرآیند لایه نشانی سیلیکن آمورف در راکتور PECVD و بررسی اثر فشار محفظه روی خواص لایه نشانده شده. 1386. Available from: https://sid.ir/paper/810241/fa
IEEE:
کپیحسام ایلاتی، میثم باوفا، و بیژن رشیدیان، “شبیه سازی فرآیند لایه نشانی سیلیکن آمورف در راکتور PECVD و بررسی اثر فشار محفظه روی خواص لایه نشانده شده،” presented at the کنفرانس ملی خلاء ایران. 1386، [Online]. Available: https://sid.ir/paper/810241/fa