توپوگرافی و اندازه گیری صافی سطح زیر با استفاده از اندازه گیری لیزر اینترفرومتری میکروسکوپ زیگو ناممکن است. به دلیل دقت بالا و همچنین مدت زمان کوتاه اندازه گیری، استفاده از روش خازنی برای اندازه گیری توپوگرافی و صافی سطح زبر از جنس کوارتز پیشنهاد می شود. با استفاده از این روش می توان نقشه خطا را برای فرایندهای اصلاح خطای شکل، مانند پولیش کاری با کنترل کامپیوتری (CCP)، پرداخت با ذرات ساینده مغناطیسی (MRF)، روش جت سیال ساینده و اصلاح به روش یونی، ایجاد کرد. در این تحقیق توپوگرافی خطای شکل سطح زبر به کمک حسگر خازنی اندازه گیری و قطعه مورد نظر با استفاده از روش غبار سیال ساینده اصلاح خطا شد و ایده اصلاح خطای شکل سطح زیر به واقعیت پیوست. مشخص شد که در میان روشهای اندازه گیری میانگین- مساحت، روش اندازه گیری خازنی، توانایی اندازه گیری و تحقق ایده اصلاح خطای شکل، سطح زبر را دارد. اندازه گیری صافی سطح قطعه ای که زبری Rc آن در حدود صافی سطح قطعه است یکی از ویژگی های منحصر به فرد روش ارایه شده است.