مقاله طرح

مشخصات مقاله

مجری: واحد صنعتی شریف
سال:1395 | تاریخ پایان: دی 1395

video

sound

نسخه انگلیسی

بازدید:

84

دانلود:

69

استناد:

اطلاعات طرح

عنوان

بهینه سازی چشمه پرتو یون پهن برای لایه نشانی به کمک پرتو یون

شماره مسلسل

صفحات

 صفحه شروع | صفحه پایان

چکیده

 : این گزارش مشتمل بر شرح فعالیت های انجام شده در سه مرحله بهینه سازی چشمه پرتو یون پهن با عناوین "بهینه سازی چشمه پلاسما", "بهینه سازی سامانه استخراج" و "سایر بهینه سازی ها و آزمون های نهائی" است. در مرحله اول اجزای مختلف چشمه پلاسما شامل کاتد, آند, مگنترون و خنک سازی به سازی می گردند. در بخش سامانه استخراج, توری ها ازنظر ابعاد و اتصالات و تعداد و. . . مورد بهینه سازی قرار می گیرند و در سومین بخش, سامانه خنثی ساز و بدنه و اجزای مربوط مانند پایه ها, اتصالات ورود گاز و غیره بررسی و طراحی می گردند. در پایان نیز یک نمونه لایه اپتیکی با و بدون استفاده از چشمه یون ساخته شده, ایجاد و ضریب عبور نوری آن در طول موج های مرئی مقایسه می گردد. هدف: بهینه سازی یک چشمه یون پهن جریان مستقیم با عملکرد پایدار در سطح آزمایشگاهی با انرژی بیشینه 200 الکترون ولت و جریان 50 میلی آمپر روش: در این طرح از روش های مطالعه کتابخانه ای, شبیه سازی, تجربی و مهندسی معکوس برای پژوهش استفاده می شود. شبیه سازی رایانه ای با استفاده از تکنیک اجزای محدود بوسیلة نرم افزارهای شبیه سازی و بر اساس نتایج بررسی نظری اصول و عملکرد چشمه یون انجام می گیرد. نتایج: چشمه یون پهن جریان مستقیم با عملکرد پایدار در سطح آزمایشگاهی با انرژی بیشینه 300 الکترون ولت و جریان بیشینه 76 میلی آمپر با قطر پرتو 6 سانتی متر در پنجره خروجی و زاویه واگرائی 4/7 درجه و سامانه استخراج 3 توری و خنثی ساز خطی.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.