مقاله طرح

مشخصات مقاله

مجری: واحد صنعتی شریف | سال:1387 | تاریخ پایان: اسفند 1387

video

sound

نسخه انگلیسی

بازدید:

120

دانلود:

54

استناد:

اطلاعات طرح

عنوان

سیستم لایه نشانی فیزیکی در خلا بالا مدل EDS160

شماره مسلسل

نویسنده

جلال-نوری | کورس-حمزه

صفحات

 صفحه شروع | صفحه پایان

کلیدواژه

ثبت نشده است

چکیده

 هدف از اجرای این مطالعه طراحی و ساخت یک دستگاه نیمه خودکار لایه نشانی در خلأ با استفاده از پمپ توربومولکولار شامل سامانه های لایه نشانی مقاومتی و منبع تبخیر الکترونی و لوازم جانبی شامل ضخامت سنج کریستالی، سامانه تمیز کاری پلاسمایی، گرمکن تابشی و نمونه گردان می باشد. این طرح شامل مراحل طراحی و ساخت زیر بوده است: - طراحی کلی سامانه محتطه خلا، کابینت کنترل و کابینت تغذیه منبع تبخیر الکترونی - طراحی جزئیات محفظه دستگاه شامل ایستگاه های نصب منابع تبخیر، گرمکن نمونه، نمونه گردان، تمیزکاری پلاسمایی و دیگر لوازم - طراحی جزئیات کابینت خلا شامل خلا سنج ها، شیرهای خلا - طراحی جزئیات کابینت کنترلی شامل مدار کنترل و منابع تغذیه - تدارک پمپ ها و خلا سنج ها - ساخت سامانه ها و اجزا ذکر شده - مونتاژ و انجام آزمون های سامانه خلا - نصب و راه اندازی سامانه در دانشگاه آزاد مهاباد - تدوین مستندات طراحی، کنترل کیفیت و دستورالعمل راهبردی نتایج این طرح شامل ساخت سامانه های زیر است که تحویل کارفرما شده است: - دستگاه نیمه خودکار لایه نشانی در خلأ بالا در حجم محفظه 110 لیتر و فشار نهایی6-10 میلی بار با تمامی لوازم جانبی ذکر شده در بالا دستگاه منبع الکترونی 3 کیلو وات

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.





  • مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID

    تبلیغات

    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID