مقاله طرح

مشخصات مقاله

مجری: پژوهشکده توسعه تکنولوژی
سال:1386 | تاریخ پایان: بهمن 1386

video

sound

نسخه انگلیسی

بازدید:

132

دانلود:

0

استناد:

اطلاعات طرح

عنوان

تولید لایه های نازک آمورف از مواد مغناطیسی نرم با روش اسپاترینگ

شماره مسلسل

صفحات

 صفحه شروع | صفحه پایان

چکیده

 مواد مغناطیسی به صورت لایه نازک کاربردهای فراوانی در صنایع نظامی, الکتریک, کامپیوتر و... دارند. روش های انجماد سریع, تبخیر و اسپاترینگ از جمله روش های تولید لایه های نازک مغناطیسی می باشند که امروزه روش اسپاترینگ بسیار مورد توجه قرار گرفته است.در این پژوهش تولید لایه های نازک آمورف با خواص مغناطیسی نرم بر پایه ترکیب شیمیایی Co82Zr2Nb10 با توجه به کاربرد آن در سیستم های حفاظت الکترونیکی کالا, هدهای مغناطیسی و... با استفاده از روش DC-Magnetron Sputtering مورد توجه قرار گرفت.لایه مورد نظر پس از ساخت دیسک آلیاژی CoNbZr بعنوان تارگت بر روی زیرلایه های شیشه و مایلار (نوعی PET) نشانده شد. در این روش بعد از برقراری خلا در محفظه تارگت به منبع تغذیه با ولتاژ منفی وصل شد. نمونه مقابل تارگت در فاصله مورد نظر قرار گرفت. بعلت اختلاف پتانسیل ایجاد شده ذرات گاز آرگون درون محفظه یونیزه می شوند, در اثر برخورد این ذرات پرانرژی به سطح تارگت و بعلت انتقال اندازه حرکت از یون های مثبت گازی برخورد کرده به سطح تارگت, اتمهای تشکیل دهنده آن کنده شده و بر روی زیرلایه نشانده شدند.تعداد زیادی از آزمایش های انجام شده برای رسیدن به شرایط عملی انجام پذیری و پایداری انجام شدند. لایه نشانی این آلیاژ فرآیند پیچیده ای است که به پارامترهای زیادی بستگی دارد. بررسی هر یک از این پارامترها مستلزم ثابت نگه داشتن سایر پارامترها می باشد, که چنین قابلیتی در دستگاههای موجود در ایران وجود نداشت. بنابراین ترکیبی از اثر فاصله نمونه از تارگت و دمای زیرلایه مورد بررسی قرار گرفت, همچنین یک تست RF-Sputtering نیز انجام شد.نمونه های تولید شده با استفاده از XRD و SEM مورد بررسی قرار گرفتند.نتایج بررسی های لایه های نازک تولید شده نشان داد که ضخامت لایه ها ~30nm با ساختار آمورف و بعضا بهمراه مقداری فازهای نانوکریستالی است. نرخ لایه نشانی در روش (2.6 Ao/s) RF, در حدود 10 برابر نرخ لایه نشانی با روش (0.25 Ao/s) DC می باشد.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.
  • کارگاه های پیشنهادی






    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    انتشارات انتخاب
    نهمین کنگره زخم و ترمیم بافت‎‎
    حوزه علمیه خواهران شهرستان اقلید

    فایل موجود نیست