مقاله طرح

مشخصات مقاله

مجری: پژوهشکده علوم پایه کاربردی
سال:1388 | تاریخ پایان: اسفند 1388

video

sound

نسخه انگلیسی

بازدید:

91

دانلود:

استناد:

اطلاعات طرح

عنوان

برپایی دستگاه کندوپاش مگنترونی DC وRF به منظور ساخت لایه های نازک و نانو ساختارها

شماره مسلسل

نویسنده

وحید-غفوری

صفحات

 صفحه شروع | صفحه پایان

کلیدواژه

ثبت نشده است

چکیده

 هدف این طرح برپایی سامانه کند و پاش مگنترونی با ویژگی های خاصی است که بتوان از آن در ساخت لایه های نازک تک بلوری و چند بلوری، ساخت لایه های نازک هم پیوندی و ناهم پیوندی با ساختار برآرایی شده با کاربری در صنایع الکترونیک و نیز ساخت نانو ساختارهای جهت مند برای کاربردهای اپتو الکترونیک و نانو الکترونیک بهره برد. در این گزارش سعی می شود تا ابتدا مبانی و اصول فرایند کند و پاش توضیح داده شود. انواع روش های کند و پاش و ویژگی ها و برتری های آن ذکر شود. پارامترهای مختلفی که در این روش در تهیه نانو ساختارها و لایه های نازک موثرند مورد بررسی دقیق تر قرار گیرد و در نهایت سعی می شود با توجه به ویژگی ها و مطالب ذکر شده یک سامانه کند و پاش RF ـDC مگنترونی با بیشترین قابلیت ها طراحی و ارائه گردد. با توجه به اینکه استفاده از روش های مناسب تر و کاربردی تر کردن روش های موجود همواره جزو اهداف اصلی پژوهش های کاربردی است، در اینجا نیز سعی شده که سیستمی که برپا می شود از بیشترین قابلیت ها نسبت به سیستم های معمولی موجود برخوردار باشد.

استنادها

  • ثبت نشده است.
  • ارجاعات

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط نشریه ای

  • ثبت نشده است.
  • مقالات مرتبط همایشی

  • ثبت نشده است.
  • طرح های مرتبط

  • ثبت نشده است.





  • مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID
    مرکز اطلاعات علمی SID