برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات مقاله

عنوان: 

طراحی و شبیه سازی خازن الکترو گرمایی تنظیم پذیر MEMS با محدوده تنظیم پذیری وسیع

نوع ارائه: مقاله
نویسنده: دلپسندمطلق شيرازي آرمان,مهران مهديه,حكيمي احمد,بردبار سجاد
 
 
 
عنوان همایش: كنفرانس بين المللي ريزفناوري
نوع همایش:  وزارت علوم، تحقيقات و فناوري
حامی:  پژوهشكده فناوري هاي نو، دانشگاه صنعتي اميركبير
زمان:  1392دوره 1
 
چکیده: 

در اين مقاله يک ساختار جديد براي خازن ميکروالکترومکانيکي با ظرفيت بالا و متغيير ارائه شده است. مشخصه بارز خازن پيشنهادي استفاده از ماده BaTiO3 به عنوان دي الکتريک مي باشد که بعلت ضريب دي الکتريک بالا باعث افزايش ظرفيت خازني در اين ساختار شده است. ...

 
کلید واژه: MEMS، Trench capacitor، BaTiO3
 
مقالات نشریه ای مرتبط: 
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 
ارتباط خیلی زیاد ارتباط زیاد مرتبط ارتباط کمتر
 
 
بازدید یکساله 34   pdf-file
 
 
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی