هدف از اين تحقيق طراحي، تحليل و شبيه سازي ورکتوري بر پايه فناوري MEMS است که در عين داشتن مشخصات مناسب در بازه فرکانسي X و Ku، بازه تغييرات ظرفيت خازني گسترده اي نيز داشته باشد. به منظور بهبود عملکرد مکانيکي ورکتور سعي بر آن شد تا تحليل استاتيکي و ديناميکي رفتار مکانيکي ارائه شود...