در اين مقاله، يک ريز چرخش سنج لرزشي – ارتعاشي با سه درجه آزادي، شامل دو درجه آزادي در مد تحريک و يک درجه آزادي در مد حس، ارائه شده است. استفاده از طراحي دي کوپل پيشرفته با قاب جداکننده بين دو مد حرکتي، از يکسو باعث بهبود قابل ملاحظه رفتار مکانيکي حسگر در مواجهه با خطاي متعامد شده است...