برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات مقاله

عنوان: 

طراحی و ساخت سیستم لیتوگرافی نوری تصویری با استفاده از دیود نوری توان بالا

نوع ارائه: مقاله
نویسنده: جوكار علي,دهقاني سجاد,شيخي محمدحسين
 
 
 
عنوان همایش: کنفرانس مهندسي برق ايران
نوع همایش:  وزارت علوم، تحقيقات و فناوري
حامی:  دانشگاه شيراز، کميته دائمي کنفرانس مهندسي برق ايران
زمان:  1395دوره 24
 
چکیده: 

با پيشرفت روزافزون تکنولوژي، نياز به ساخت و توسعه ابزارهاي الکترونيک با ابعاد کوچکتر، سرعت بيشتر، مشخصات مطلوب تر و کارايي بهتر افزايش يافته است.. ليتوگرافي يکي از روش هاي متداول براي ساخت مدارهاي الکترونيک مي باشد که با گسترش و ظهور ابزارهايي نظير ميکروسکوپ هاي الکتروني توسعه يافته و امروزه ساختارهايي با دقت و کيفيت بالا، با اين روش ساخته مي شوند...

 
کلید واژه: ليتوگرافي، ليتوگرافي نوري تصويري، ماسک
 
مقالات نشریه ای مرتبط: 
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 
ارتباط خیلی زیاد ارتباط زیاد مرتبط ارتباط کمتر
 
 
بازدید یکساله 126   pdf-file
 
 
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی