برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات مقاله

عنوان: 

بررسی خواص غیر خطی الکتریکی لایه نازک سیلیکان

نوع ارائه: مقاله
نویسنده: صادق بيگي مريم,ثابت دارياني رضا
 
 
 
عنوان همایش: كنفرانس ملي خلاء ايران
نوع همایش:  انجمن هاي علمي
حامی:  دانشگاه صنعتي شريف
زمان:  1386دوره 3
 
چکیده: 

اندازه گيري مقاومت ويژه ويفرهاي سيليكان (111) نوع p،n  به روش ون در پاو انجام شد. سپس به وسيله تبخير اشعه الكتروني، يك لايه نازك از سيليكان بر روي ويفر سيليكان نشانديم. با مقايسه نمودار ويفر سيليكان با حالت لايه نشاني شده سيليكان، مشاهده شد براي جريان هاي كمتر از 2mA تفاوت آشكاري ميان دو حالت وجود دارد كه ناشي از لايه نازك سيليكان مي باشد.

 
کلید واژه: 
 
مقالات نشریه ای مرتبط: 
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 
ارتباط خیلی زیاد ارتباط زیاد مرتبط ارتباط کمتر
 
 
بازدید یکساله 44   pdf-file
 
 
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی