برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات مقاله

عنوان: 

بررسی اثر بازپخت در خلا بر روی خواص الکتریکی، اپتیکی و ساختاری لایه های نازک و شفاف ITO تهیه شده به روش تبخیر در خلا با استفاده از باریکه الکترونی

نوع ارائه: مقاله
نویسنده: ميرزايي فاطمه,ملكي محمدهادي,ميرجليلي غضنفر
 
 
 
عنوان همایش: كنفرانس ملي خلاء ايران
نوع همایش:  انجمن هاي علمي
حامی:  دانشگاه صنعتي شريف
زمان:  1386دوره 3
 
چکیده: 

لايه هاي نازك ITO بر روي زيرلايه هاي شيشه اي در دماي 200oC با كمك روش تبخير در خلا با استفاده از باريكه الكتروني، لايه نشاني شده است. نمونه هاي لايه نشاني شده، در محيط اتمسفر و محيط خلا، در دماهاي مختلف تحت بازپخت قرار گرفته اند. مقاومت الكتريكي نمونه پس از لايه نشاني 1.84×10-1Wcm اندازه گيري شد و پس از بازپخت در اتمسفر و خلا (به ترتيب) 500oC و 400oC درجه، به مقدار 1.35*10-4Wcm كاهش يافت. عبور نوري نمونه 78.66% بدست آمد. با استفاده از نتايج XRD، ثابت شبكه10.08 Ao  محاسبه شد. باند ممنوعه نوري لايه هاي نازك ITO، 4.27 بدست آمد. براي بررسي اندازه گيري خواص لايه هاي نازك ITO از سيستم چهارترمينالي، طيف سنج UV/VIS/IR، XRD و AFM استفاده شده است.

 
کلید واژه: 
 
مقالات نشریه ای مرتبط: 
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 
ارتباط خیلی زیاد ارتباط زیاد مرتبط ارتباط کمتر
 
 
بازدید یکساله 106   pdf-file
 
 
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی