برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات مقاله

عنوان: 

مطالعه تاثیر کاشت یونی بر ساختار بلوری و مورفولوژی سطح تک بلور سیلیسیم

نوع ارائه: مقاله
نویسنده: لطفي عرفان,آقاعلي گل داوود,شيرواني مهرداد,باقي زاده علي
 
 
 
عنوان همایش: كنفرانس ملي خلاء ايران
نوع همایش:  انجمن هاي علمي
حامی:  دانشگاه صنعتي شريف
زمان:  1386دوره 3
 
 
چکیده: 

در اين مقاله آسيب بلوري ايجاد شده بر اثر كاشت ناخالصي ژرمانيوم با دو دوز و انرژي متفاوت در تك بلور سيليسيم بررسي شده است. دز و انرژي ناخالصي هاي ژرمانيوم كشت شده در سيليسيم عبارت است از: 1×1016atom/cm2  با انرژي3keV  و 5×1016atoms/cm2 با انرژي 100keV. آسيب بلوري ايجاد شده، با استفاده از تكنيك RBS-Channeling بررسي و پروفايل اتم هاي سيليسيم جابجا شده از مكان شبكه اي خود بر حسب عمق، بعد از كاشت يوني به دست آمده است. همچنين اثر بازپخت حرارتي بر ترميم شبكه بلوري سيليسيم نيز مطالعه و بررسي شده است. علاوه بر اين مورفولورژي سطح بلور سيليسيم در جهت (100) كه با يون هاي زرمانيوم كاشت شده است. با استفاده از ميكروسكوپ نيروي اتمي (AFM) قبل از بازپخت حرارتي مورد بررسي قرار گرفته است.

 
کلید واژه: 
 
مقالات نشریه ای مرتبط: 
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 
 
بازدید یکساله 141   pdf-file
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی