برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات

عنوان:

ساخت «ماسک رتیکل کروی»



گروه تخصصی:  فنی و مهندسی

سازمان مجری:  واحد صنعتی شریف 

گروه پژوهشی: مهندسی برق و کامپیوتر

پژوهشگران: 
حمزه کورس (مسئول طرح)

تاریخ خاتمه:  اسفند 1374

کارفرما: صنایع الکترونیک

خروجی طرح: 

بر اساس تحقیقات لازم نمونه ای از «ماسک رتیکل کروی» ساخته شده است، همچنین نتایج حاصل از این تحقیق قابل واگذاری است.


نوع: کاربردی

 
تلفن: 66005970-66031914-66024544-021

نشانی سازمان مجری: تهران، خیابان آزادی، خیابان شهید ولی اله صادقی، روبروی درب شمالی دانشگاه صنعتی شریف، پلاک 79، کدپستی
 

چکیده:

هدف طرح، ساخت یک ماسک مخصوص روی سطحی با شعاع انحنای 30 میلی متر و با قطر حدود 25 میلی متر بوده است. ساخت این ماسک با امکانات عکس برداری متداول در کشور وجود نداشته، از این رو از روش «لیتوگرافی با پرتوالکترون» استفاده شده و عرض خطوط به کمک قطر پرتو کنترل شده است. برای تهیه کپی ماسک با عرض خط چند برابر، از روش حرکت ماسک تحت کنترل کامپیوتر در حین پرتودهی ماوراء بنفش استفاده شده است.
خلاصه ای از فعالیت های انجام شده:
- بررسی روش های مختلف انتقال طرح به سطح کروی و استفاده از تابش پرتو الکترونی
با توجه به قابلیت های سیستم میکروسکوپ الکترونی موجود در این جهاد
- اضافه نمودن مکانیزم های حرکت اتوماتیک «سکو» و کنترل روشن و خاموش شدن پرتو تحت فرمان کامپیوتر به سیستم
- تهیه نرم افزار لازم برای هدایت سیستم طبق الگوی مورد نظر
- بررسی شرایط پرتودهی ماده حساس به منظور بررسی و تعیین وضعیت بهینه
- اندازه گیری انحراف های غیرخطی و تکرارپذیر حرکت سکو و جبران آن ها به کمک نرم افزار
- انجام موفق عملیات پرتودهی



کلیدواژگان:

 
 
Title:



Abstract:

Keyword(s):