برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات

عنوان:

نمونه سازی «ماسک ترانزیستور»



گروه تخصصی:  فنی و مهندسی

سازمان مجری:  واحد صنعتی شریف 

گروه پژوهشی: مهندسی برق و کامپیوتر

پژوهشگران: 
مساحتی وحید (مسئول طرح)

تاریخ خاتمه:  اسفند 1373

کارفرما: مرکز تحقیقات نیمه هادی

خروجی طرح: 

نتایج این تحقیق به کارفرما واگذار شده است.


نوع: توسعه ای

 
تلفن: 66005970-66031914-66024544-021

نشانی سازمان مجری: تهران، خیابان آزادی، خیابان شهید ولی اله صادقی، روبروی درب شمالی دانشگاه صنعتی شریف، پلاک 79، کدپستی
 

چکیده:

در این طرح برای ساخت «ترانزیستور تحقیقاتی» ماسکی با حداقل عرض خطوط 8 میکرون تهیه گردید. از آنجایی که برای تکرار «لی آت» در ابعاد مورد نیاز با دقت تکرار کافی، دوربین کاهنده مناسب در داخل کشور وجود نداشت از یک روش ابداعی برای حل مشکل انطباق ماسک ها استفاده شده است. در این روش با ساخت پنج ماسک روی یک شیشه، خطای تطبیق ماسک ها کاملا حذف گردید. بدین ترتیب به جای پنج ماسک، یک ماسک حاوی پنج لی آت مختلف ساخته شد و علامت تطبیق به آن اضافه گردید. با این روش فقط در 20% از مساحت «ویفر»، ترانزیستور سالم ساخته می گردد که برای مرحله تحقیقات ساخت ترانزیستور کفایت می نماید.
خلاصه ای از فعالیت های انجام شده:
- بررسی روش های مختلف تهیه لی آت و ماسک با توجه به امکانات موجود
- بررسی دقت تکرار دوربین کاهنده موجود
- ابداع روش عملی برای حل مشکل خطای تطبیق ماسک ها
- تهیه لی آت علامت تطبیق ماسک ها
- تکرار طرح و تهیه ماسک 4×4 اینچ



کلیدواژگان:

 
 
Title:



Abstract:

Keyword(s):