برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات

عنوان:

بهینه سازی ضریب حرارتی و پایداری مقاومت لایه نازک «Ni-Cr»



گروه تخصصی:  فنی و مهندسی

سازمان مجری:  واحد صنعتی شریف 

گروه پژوهشی: مهندسی برق و کامپیوتر

پژوهشگران: 
حمزه کورس (مسئول طرح)

تاریخ خاتمه:  بهمن 1373

کارفرما: جهاددانشگاهی صنعتی شریف

خروجی طرح: 

نتایج این تحقیق مورد استفاده داخلی قرار گرفته است.


نوع: کاربردی

 
تلفن: 66005970-66031914-66024544-021

نشانی سازمان مجری: تهران، خیابان آزادی، خیابان شهید ولی اله صادقی، روبروی درب شمالی دانشگاه صنعتی شریف، پلاک 79، کدپستی
 

چکیده:

در این طرح پارامترهای فرآیند ساخت «مقاومت لایه نازک» مورد بررسی و تحقیق قرار گرفته است. این مقاومت ها که از طریق حرارتی و با دو روش لحظه ای (فلاش) و تدریجی روی شیشه، «آلومینای زبر» و «آلومینای صیقلی» ساخته شده اند، مورد آزمایش قرار گرفته اند.
در این آزمایش ها ضمن بررسی تفاوت روش های لحظه ای و تدریجی تبخیر و تاثیر جنس زیرآیند، دمای زیرآیند در هنگام تشکیل لایه، ترکیب آلیاژ روی ضریب حرارتی مقاومت (
TCR) و پایداری حرارتی تحت مطالعه قرار گرفته است.
بدین منظور هزار نمونه مقاومت صفحه ای حدود
%50Wتا %150W به روش «فتولیتوگرافی» و کنده کاری شیمیایی روی لایه ها ساخته شدند. مقاومت ها حدود 50 ساعت در دمای 250oCانیل گردیدند و سپس تغییرات مقاومت الکتریکی در اثر حرارت را بررسی کرده با انجام یک سری عملیات حرارتی پایداری بهتر از 0.1 درصد به دست آمد.
اندازه گیری
«TCR» و پایداری حرارتی نشان داد که «تلرانس» و پایداری حرارتی مقاومت ها روی «آلومینای زبر» بهتر از شیشه و «آلومینای صیقلی» است. با افزودن 25% وزنی طلا به آلیاژ نیکروم 50.50باعث گردید که به مقاومت هایی با «TCR» حدود 10PPm/oCو پایداری حرارتی بهتر از 0.1درصد دست یابیم.



کلیدواژگان:

 
 
Title:



Abstract:

Keyword(s):