برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات

عنوان:

بهینه سازی کاتد مگنترون RF اسپاترینگ



گروه تخصصی:  فنی و مهندسی

سازمان مجری:  واحد صنعتی شریف 

گروه پژوهشی: فیزیک

پژوهشگران: 
حمزه کورس (مسئول طرح)

تاریخ خاتمه:  اسفند 1388

کارفرما: معاونت پژوهش و فناوری جهاددانشگاهی

خروجی طرح: 

ـ نصب در سامانه لایه نشانی دانشگاه آزاد کرج
ـ استفاده در سامانه اسپاترینگ پژوهشگاه مواد و انرژی
ـ استفاده در سامانه اسپاترینگ دانشگاه صنعتی اصفهان
ـ نصب در سامانه لایه نشانی مرکز میکرو الکترونیک جهاددانشگاهی صنعتی شریف

ـ سازمان پژوهش های علمی و صنعتی ایران.


نوع: کاربردی

 
تلفن: 66005970-66031914-66024544-021

نشانی سازمان مجری: تهران، خیابان آزادی، خیابان شهید ولی اله صادقی، روبروی درب شمالی دانشگاه صنعتی شریف، پلاک 79، کدپستی
 

چکیده:

بالابردن کارایی سامانه کاتد مگنترون RF اسپاترینگ با بالا بردن توان بیشینه کاتد ساخته شده از 650 وات به 1 کیلووات و نرخ لایه نشانی از 12.6 نانومتر بر ثانیه به 18 نانومتر برثانیه برای اهداف مسی است. بازدهی مصرف تارگت هم حدود 19% است که تا 30% قابل افزایش است.
مراحل و روش های اجرایی طرح عبارتند از:
ـ مطالعه کتابخانه ای کاتد مگنترون اسپاترینگ
ـ شبیه سازی میدان مغناطیسی به وسیله نرم افزار ANSIS با توجه به وضعیت و تعداد آهنرباها و میدان حاصل از آنها در اطراف کاتد
ـ انجام مهندسی معکوس با بررسی نمونه های خارجی موجود در داخل کشور
ـ مطالعه مواد مغناطیسی مختلف به لحاظ هدایت میدان و انتخاب ماده مناسب با در نظر گرفتن نتایج حاصل از شبیه سازی با نرم افزار، ترسیم طیف میدان مغناطیسی مواد انتخاب شده و مقایسه با نمونه موجود
ـ طراحی و ساخت کاتد بر اساس نتایج به دست آمده
ـ انجام لایه نشانی با نمونه ساخته شده در محیط RF و اندازه گیری توان و نرخ لایه نشانی
ـ تعیین مقطع عرضی بخش های مصرف شده هدف و محاسبه بازده هدف
نتایج طرح عبارتند از:
ـ توان بیش از 1 کیلووات
ـ نرخ لایه نشانی برابر 19.6 نانومتر بر ثانیه
ـ بازدهی مصرف هدف در حدود 56%
ـ هدایت و انتقال گاز اسپاترینگ از مسیر لوله پایه کاتد.



کلیدواژگان:

 
 
Title:



Abstract:

Keyword(s):