برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات

عنوان:

کاربرد MEMS در اندازه گیری ابعادی



گروه تخصصی:  فنی و مهندسی

سازمان مجری:  پژوهشکده توسعه تکنولوژی 

گروه پژوهشی: مکانیک

پژوهشگران: 
جلیلی هادی (مسئول طرح)

تاریخ خاتمه:  بهمن 1386

کارفرما: معاونت پژوهش و فناوری جهاددانشگاهی

خروجی طرح: 

در این طرح تکنولوژی MEMS و قابلیت های آن، امکان استفاده از آن در اندازه گیری ابعادی و ارائه طرح های عملی جهت استفاده از این تکنولوژی مورد بررسی و مطالعه قرار گرفت.


نوع: کاربردی

 
تلفن: 66043905-021

نشانی سازمان مجری: تهران، خیابان آزادی ضلع شمالی دانشگاه صنعتی شریف خیابان شهید قاسمی، پلاک 79 صندوق پستی: 686-13445
 

چکیده:

طرح امکان سنجی کاربرد MEMS در اندازه گیری ابعادی به منظور شناسایی تکنولوژی MEMS و بررسی قابلیت ها و محدودیت های این تکنولوژی برای استفاده در تجهیزات اندازه گیری ابعادی پیشنهاد گردید. در این طرح ابتدا اصول علمی و تئوری عملکرد ترانسدیوسرهای اندازه گیری جابجایی خطی شناسایی شد و تکنیک های مختلف این نوع اندازه گیری معرفی گردید. پس از آن تکنولوژی سیستم های میکرو الکترومکانیکال MEMS Technology مورد بررسی قرار گرفت. این بررسی از چند دیدگاه متفاوت از قبیل مواد تکنولوژی MEMS، روش های ساخت و خواص مبدلی (ترانسداکشن) انجام گرفت. با شناسایی قابلیت های تکنولوژی MEMS و نیازمندی های اندازه گیری ابعادی، طرح های عملی برای استفاده از تکنولوژی MEMS در زمینه اندازه گیری ابعادی مطرح گردید. در این میان برخی از مراکز داخل کشور که در زمینه ساخت میکرونی توانایی دارند نیز معرفی گردیدند.



کلیدواژگان:

 
 
Title:



Abstract:

Keyword(s):