برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات

عنوان:

سیستم لایه نشانی فیزیکی در خلا بالا مدل EDS160



گروه تخصصی:  فنی و مهندسی

سازمان مجری:  واحد صنعتی شریف 

گروه پژوهشی: فناوری خلأ بالا

پژوهشگران: 
نوری جلال (مسئول طرح)
حمزه کورس (همکار طرح)

تاریخ خاتمه:  اسفند 1387

کارفرما: دانشگاه آزاد مهاباد

خروجی طرح: 

این سامانه به همراه کلیه لوازم ذکر شده در دانشگاه آزاد اسلامی در حال بهره برداری است و از آن برای ساخت انواع لایه های نازک و نیز مواد با ساختارهای نانوئی مانند نانو اسکالپچرها استفاده می شود.


نوع: کاربردی

 
تلفن: 66005970-66031914-66024544-021

نشانی سازمان مجری: تهران، خیابان آزادی، خیابان شهید ولی اله صادقی، روبروی درب شمالی دانشگاه صنعتی شریف، پلاک 79، کدپستی
 

چکیده:

هدف از اجرای این مطالعه طراحی و ساخت یک دستگاه نیمه خودکار لایه نشانی در خلأ با استفاده از پمپ توربومولکولار شامل سامانه های لایه نشانی مقاومتی و منبع تبخیر الکترونی و لوازم جانبی شامل ضخامت سنج کریستالی، سامانه تمیز کاری پلاسمایی، گرمکن تابشی و نمونه گردان می باشد.
این طرح شامل مراحل طراحی و ساخت زیر بوده است:
- طراحی کلی سامانه محتطه خلا، کابینت کنترل و کابینت تغذیه منبع تبخیر الکترونی
- طراحی جزئیات محفظه دستگاه شامل ایستگاه های نصب منابع تبخیر، گرمکن نمونه، نمونه گردان، تمیزکاری پلاسمایی و دیگر لوازم
- طراحی جزئیات کابینت خلا شامل خلا سنج ها، شیرهای خلا
- طراحی جزئیات کابینت کنترلی شامل مدار کنترل و منابع تغذیه
- تدارک پمپ ها و خلا سنج ها
- ساخت سامانه ها و اجزا ذکر شده
- مونتاژ و انجام آزمون های سامانه خلا
- نصب و راه اندازی سامانه در دانشگاه آزاد مهاباد
- تدوین مستندات طراحی، کنترل کیفیت و دستورالعمل راهبردی
نتایج این طرح شامل ساخت سامانه های زیر است که تحویل کارفرما شده است:
- دستگاه نیمه خودکار لایه نشانی در خلأ بالا در حجم محفظه 110 لیتر و فشار نهایی6-10 میلی بار با تمامی لوازم جانبی ذکر شده در بالا
دستگاه منبع الکترونی 3 کیلو وات



کلیدواژگان:

 
 
Title:



Abstract:

Keyword(s):