برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات

عنوان:

سیستم لایه نشانی خلا بالا JSM200



گروه تخصصی:  فنی و مهندسی

سازمان مجری:  واحد صنعتی شریف 

گروه پژوهشی: مهندسی برق- فیزیک- مکانیک

پژوهشگران: 
رستمی حبیب (مسئول طرح)

تاریخ خاتمه:  بهمن 1382

کارفرما: دانشکده دمشق- موسسه عالی تحقیقات و کاربرد لیزر

خروجی طرح: 

از سیستم فوق کارفرما بهره برداری می کند و انجام کامل پروژه مورد تایید قرار گرفته است.


نوع: کاربردی

 
تلفن: 66005970-66031914-66024544-021

نشانی سازمان مجری: تهران، خیابان آزادی، خیابان شهید ولی اله صادقی، روبروی درب شمالی دانشگاه صنعتی شریف، پلاک 79، کدپستی
 

چکیده:

در این طرح یک سیستم خلا بالا نیمه اتوماتیک با مشخصات ذیل طراحی، ساخته و نصب و راه اندازی شد و آموزش نظری و عملی کار با سیستم به پرسنل موسسه لیزر دانشگاه دمشق داده شد.
1- منبع تبخیر مقاومتی با منبع تغذیه 250 آمپر
2- منبع تبخیر الکترونی مغناطیسی 3 KW
3- مگنترون اسپاترینگ DC یک کیلووات ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری
4- ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری
5- بالابر برقی محفظه
6- پمپ دیفیوژن و یک دستگاه تله ازت
7- پمپ مکانیکی روتاری دو مرحله ای
8- محفظه استیل با ظرفیت 110 لیتر
9- مدار کنترل و حفاظت خودکار
10- نمایشگر وضعیت سیستم



کلیدواژگان:

 
 
Title:



Abstract:

Keyword(s):