کرونا در اخبار
وزارت بهداشتفارس ایسنا ایرنا جماران سیناپرس خبرآنلاین
کرونا
CoronaVirus
[COVID19]
کرونا در منابع علمی
CDC Nejm JAMA Lancet Cell BMJ Elsevier Oxford Nature Wiley Cambridge Medrxiv

مشخصات

عنوان:

ساخت منبع تبخیر الکترونی



گروه تخصصی:  فنی و مهندسی

سازمان مجری:  واحد صنعتی شریف 

گروه پژوهشی: پژوهشی برق

پژوهشگران: 
حمزه کورس (مسئول طرح)
مقبل الحسین مجتبی (همکار طرح)
ایمانی فرهاد (همکار طرح)
زواریان علی اصغر (همکار طرح)
اربابی احمد (همکار طرح)

تاریخ خاتمه:  1377

کارفرما: 

خروجی طرح: 
 
تلفن: 66005970-66031914-66024544-021

نشانی سازمان مجری: تهران، خیابان آزادی، خیابان شهید ولی اله صادقی، روبروی درب شمالی دانشگاه صنعتی شریف، پلاک 79، کدپستی
 

چکیده:

در این پروژه انواع و تئوری عملکرد منابع تبخیر الکترونی بطور اجمال بررسی شده و چند نمونه خارجی مبنای مهندسی معکوس و طراحی مجدد قرار گرفته اند. پس از شناسایی پارامترهای طراحی یک نمونه منبع تبخیر الکترونی از نوع شتاب یافته با قطعه کار، در مرحله اول یک نمونه ساده 1 KW ساخته شد. در مرحله بعد دستگاه 3 KW خنک شونده با آب طراحی و نمونه سازی گردید. در هر مورد منبع تغذیه مربوطه نیز ساخته شد. در مرحله پایانی چند آزمایش به منظور شناسایی ویژگیهای دستگاه صورت گرفت. در حال حاضر از این دستگاه بطور روزمره در مرکز میکروالکترونیک بهره برداری می شود.



کلیدواژگان:

 
 
Title:

Development of an Evaporation Electron Beam Source



Abstract:

In this project the types and the theory of operation of various electron guns for evaporation are reviewed. Reverse engineering and redesign of electrostatic E-gun was performed based on a few available samples. Following to characterization of an available work accelerated E-gun, a simple 1 KW source was constructed. At the next step, water cooled 3 KW electrostatic E-gun evaporation source adjustment was designed and built. In addition, HV power supplies were constructed. Finally parameters of operation of this unit was measured and evaluated. This E-gun is being used continuously at Microelectronic R & D Center.



Keyword(s):