کرونا در اخبار
وزارت بهداشتفارس ایسنا ایرنا جماران سیناپرس خبرآنلاین
کرونا
CoronaVirus
[COVID19]
کرونا در منابع علمی
CDC Nejm JAMA Lancet Cell BMJ Elsevier Oxford Nature Wiley Cambridge Medrxiv

مشخصات

عنوان:

ساخت سیستم مانیتورینگ لایه نشانی تحت خلا (ویرایش پنجم)



گروه تخصصی:  فنی و مهندسی

سازمان مجری:  واحد صنعتی شریف 

گروه پژوهشی: پژوهشی برق

پژوهشگران: 
زواریان علی اصغر (مسئول طرح)
مهتدی بهرام (مسئول طرح)
طالبی محمود (مسئول طرح)
حمزه کورس (مسئول طرح)

تاریخ خاتمه:  آبان 1381

کارفرما: 

خروجی طرح: 
 
تلفن: 66005970-66031914-66024544-021

نشانی سازمان مجری: تهران، خیابان آزادی، خیابان شهید ولی اله صادقی، روبروی درب شمالی دانشگاه صنعتی شریف، پلاک 79، کدپستی
 

چکیده:

طرح تحقیقات کاربردی ساخت سیستم مانیتورینگ لایه نشانی تحت خلا شامل مطالعه، طراحی و ساخت چند زیر مجموعه متنوع و تدوین دانش فنی مربوطه می شود. زیر مجموعه های مذکور عبارتند از: (1) سنسور پیزوالکتریک و نگهدارنده/ خنک کننده آن در محفظه خلا بالا، (2) مدار اسیلاتور، (3) کارت کامپیوتری فرکانس متر، و (4) نرم افزار پردازش، ذخیره سازی و ارایه اطلاعات به کاربر. نهایتا چند مجموعه از این سیستم ساخته شد و مورد بهره برداری قرار گرفت.



کلیدواژگان:

 
 
Title:

Vacuum Coating Monitoring System Fabrication



Abstract:

“Fabrication of the computerized monitoring system for vacuum coating” project was consisted of study, design and development of different sub-systems. These include (1) a piezoelectric sensor and its flexible cooling holder for vacuum chamber, (2) an oscillator circuit, (3) a frequency meter card, and (4) software for data aqusition and processing and user interface. Finally three sets of this system were produced and put into operation an universities and research centers and are working properly.
The precision of the thickness measurement is one nanometer and it shows the rate of the coating by one nanometer per second precision. Both these two quantities are shown by both graph and column chart in the monitor.
This project is conducted in the High Vacuum R&D Center of ACECR-Sharif branch.
Quartz crystals are fabricated by Iran Electronics Industries.
  



Keyword(s):