برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات

عنوان:

طراحی و ساخت سیستم لایه نشانی RF و DC مگنترون و اسپاترینگ



گروه تخصصی:  فنی و مهندسی

سازمان مجری:  واحد صنعتی شریف 

گروه پژوهشی: مهندسی الکترونیک- فیزیک

پژوهشگران: 
حمزه کورس (مسئول طرح)

تاریخ خاتمه:  آبان 1383

کارفرما: دانشگاه تربیت مدرس و آزمایشگاه الکترونیک نوری

خروجی طرح: 

این سیستم هم اکنون در آزمایشگاه الکترونیک نوری دانشگاه تربیت مدرس در حال بهره برداری است.


نوع: توسعه ای

 
تلفن: 66005970-66031914-66024544-021

نشانی سازمان مجری: تهران، خیابان آزادی، خیابان شهید ولی اله صادقی، روبروی درب شمالی دانشگاه صنعتی شریف، پلاک 79، کدپستی
 

چکیده:

این طرح شامل فعالیت های زیر بوده است:
1- طراحی کلی سیستم شامل محفظه اسپاترینگ، کابینت خلا و کابینت کنترل
2- طراحی جزئیات محفظه سیستم شامل ایستگاه های
RF و DC اسپاترینگ و گرمکن، نگهدارنده نمونه، مجموعه ورود گاز
3- طراحی جزئیات کابینت خلا شامل سیستم تخلیه با پمپ توربو مولکولار و خلاسنج ها و شاتر
4- طراحی جزئیات کابینت کنترل شامل مدار کنترل و منابع تغذیه و به کارگیری منبع تغذیه
RF ساخت شرکت نصیر موج گسترش وابسته به جهاددانشگاهی خواجه نصیرالدین طوسی، تطبیق امپدانس به دست کاربر انجام می شود.
5-تدارک پمپها و خلاسنج ها
6- ساخت کاتدها، ضخامت سنج های کریستالی، منابع تغذیه، جعبه تطبیق امپدانس، کابینت ها
7-مونتاژ و تست سیستم خلا
8- نصب و راه اندازی سیستم در دانشگاه تربیت مدرس
9- تدوین مستندات طراحی، کنترل کیفیت و دستورالعمل راهبردی



کلیدواژگان:

 
 
Title:



Abstract:

Keyword(s):