چکیده: هدف این طرح برپایی سامانه کند و پاش مگنترونی با ویژگی های خاصی است که بتوان از آن در ساخت لایه های نازک تک بلوری و چند بلوری، ساخت لایه های نازک هم پیوندی و ناهم پیوندی با ساختار برآرایی شده با کاربری در صنایع الکترونیک و نیز ساخت نانو ساختارهای جهت مند برای کاربردهای اپتو الکترونیک و نانو الکترونیک بهره برد.
در این گزارش سعی می شود تا ابتدا مبانی و اصول فرایند کند و پاش توضیح داده شود. انواع روش های کند و پاش و ویژگی ها و برتری های آن ذکر شود. پارامترهای مختلفی که در این روش در تهیه نانو ساختارها و لایه های نازک موثرند مورد بررسی دقیق تر قرار گیرد و در نهایت سعی می شود با توجه به ویژگی ها و مطالب ذکر شده یک سامانه کند و پاش RF ـDC مگنترونی با بیشترین قابلیت ها طراحی و ارائه گردد. با توجه به اینکه استفاده از روش های مناسب تر و کاربردی تر کردن روش های موجود همواره جزو اهداف اصلی پژوهش های کاربردی است، در اینجا نیز سعی شده که سیستمی که برپا می شود از بیشترین قابلیت ها نسبت به سیستم های معمولی موجود برخوردار باشد.
کلیدواژگان:
|