مشخصات

عنوان:

برپایی دستگاه کندوپاش مگنترونی DC وRF به منظور ساخت لایه های نازک و نانو ساختارها



گروه تخصصی:  علوم پایه

سازمان مجری:  پژوهشکده علوم پایه کاربردی 

گروه پژوهشی: فیزیک

پژوهشگران: 
غفوری وحید (مسئول طرح)

تاریخ خاتمه:  اسفند 1388

کارفرما: پژوهشکده علوم پایه کاربردی

خروجی طرح: 

این سامانه برای ساخت لایه های نازک، چند لایه ای ها و نیز نانو ساختارهای جهت مند یک بعدی بر روی زیرلایه های مناسب، به منظور به کارگیری آنها در ساخت ادوات نوین به خصوص ادوات الکترونیکی، الکترواپتیکی، حسگری، ادوات پیزو الکتریک و همچنین فناوری نانو می باشد.


نوع: کاربردی

 
تلفن: 021-29903037-8

نشانی سازمان مجری: تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، صندوق پستی: 169- 19835
 

چکیده:

هدف این طرح برپایی سامانه کند و پاش مگنترونی با ویژگی های خاصی است که بتوان از آن در ساخت لایه های نازک تک بلوری و چند بلوری، ساخت لایه های نازک هم پیوندی و ناهم پیوندی با ساختار برآرایی شده با کاربری در صنایع الکترونیک و نیز ساخت نانو ساختارهای جهت مند برای کاربردهای اپتو الکترونیک و نانو الکترونیک بهره برد.
در این گزارش سعی می شود تا ابتدا مبانی و اصول فرایند کند و پاش توضیح داده شود. انواع روش های کند و پاش و ویژگی ها و برتری های آن ذکر شود. پارامترهای مختلفی که در این روش در تهیه نانو ساختارها و لایه های نازک موثرند مورد بررسی دقیق تر قرار گیرد و در نهایت سعی می شود با توجه به ویژگی ها و مطالب ذکر شده یک سامانه کند و پاش
RF ـDC مگنترونی با بیشترین قابلیت ها طراحی و ارائه گردد. با توجه به اینکه استفاده از روش های مناسب تر و کاربردی تر کردن روش های موجود همواره جزو اهداف اصلی پژوهش های کاربردی است، در اینجا نیز سعی شده که سیستمی که برپا می شود از بیشترین قابلیت ها نسبت به سیستم های معمولی موجود برخوردار باشد.



کلیدواژگان:

 
 
Title:



Abstract:

Keyword(s):