ساخت سیستم مانیتورینگ لایه نشانی تحت خلا (ضخامت سنج کریستالی کامپیوتری)

چند نمونه از این مجموعه ساخته شده و مورد بهره برداری قرار گرفته است.

طرح تحقیقات کاربردی ساخت سیستم مانیتورینگ لایه نشانی تحت خلا بالا شامل مطالعه، طراحی و ساخت چند زیرمجموعه متنوع و تدوین دانش فنی مربوطه می شود.
زیرمجموعه های مذکور عبارتاند از:
1- حسگر بلور پیزوالکتریک الکترونیک و نگهدارنده/ خنک کننده آن در محفظه خلا بالا
2- مدار سیلاتور
3- کارت کامپیوتری فرکانس متر
4- نرم افزار 2 پردازش، ذخیزه سازی و ارائه اطلاعات به کاربر