برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات

عنوان:

ساخت چشمه الکترونی به منظور لایه نشانی در خلا بالا



گروه تخصصی:  علوم پایه

سازمان مجری:  پژوهشکده علوم پایه کاربردی 

گروه پژوهشی: فیزیک

پژوهشگران: 
بدراقی جلیل (همکار طرح)
بنایی اقدس (همکار طرح)
مقدم فاطمه (همکار طرح)
پارسافر ناهید (همکار طرح)
غفوری وحید (همکار طرح)

تاریخ خاتمه:  اسفند 1388

کارفرما: معاونت پژوهش و فناوری جهاددانشگاهی

خروجی طرح: 

ارائه گزارش نهایی طرح به کارفرما.


نوع: کاربردی

 
تلفن: 021-29903037-8

نشانی سازمان مجری: تهران، اوین، دانشگاه شهید بهشتی، صندوق پستی: 169- 19835
 

چکیده:

هدف این طرح برپایی سامانه تفنگ الکترونی و لایه نشانی با آن می باشد. بدین منظور سیستم تفنگ الکترونی مورد نظر روی دستگاه لایه نشانی بالزر نصب گردیده است.
در این گزارش ابتدا انواع روش های تبخیری لایه نشانی از جمله لایه نشانی با بمباران الکترونی معرفی می شود و مزایا و معایب آن ها ذکر می شود، سپس پارامترهای دخیل در لایه نشانی مانند حرارت منبع و آهنگ تبخیر، حرارت زیرلایه، هندسه فیزیکی منبع و زیرلایه، شرایط سطح زیرلایه و گاز محبوس در محیط توصیف می شوند. در مرحله بعد عملکرد اجزای مختلف سیستم بالزر تبیین شده و پس از معرفی این دستگاه، با بر شمردن اشکالاتی که در حین کار با اجزای مختلف سیستم روی داد چگونگی برطرف کردن آنها تشریح می گردد
.
در آخرین مرحله انجام لایه نشانی با دستگاه تفنگ الکترونی ارایه می شود. سپس ایجاد لایه های نازک از فلزات آهن، نیکل و کبالت مورد بحث و بررسی قرار گرفته و در نهایت ساختار میکروسکوپیک این آلیاژها با آزمون های
XRD, SEM, EDSمورد تجزیه و تحلیل قرار می گیرند.



کلیدواژگان: تفنگ الکترونی، خلا، لایه نازک، لایه نشانی تبخیری

 
 
Title:

Fabrication Of Electron Gun For Coating In High Vacuum



Abstract:

The Purpose of this project is setting up the electron gun system and coating by it. for this purpose the electron gun system has been set up on the Balzer coating system.
In this report, initially kinds of vapour coating methods, including the coating with electron bombardment are introduced, and advantages and disadvantages of them will be noted. Afterward effective parameters in coating like source heat, evaporation rate, substrate heat, physical geometry of source and substrate, surface conditions of substrate and surrounding gas in the environment will be described. In the next phase, function of various parts of Balzer system will be explained and then, after introducing the system, its problems that occur within work by different part of the system, take into account and removing methods of this problems will be explained.
Finally with electron gun system the coating will be done. Subsequently creating metallic thin films from Iron, nickel and cobalt will be investigated and at the end, microscopic structure of these alloys will be analyzed by XRD, SEM, EDS analysis.



Keyword(s): Electron gun, vacuum, thin films, Evaporation deposition