برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات

عنوان:

طراحی و ساخت کاتد مگنترون کندوپاش 2 اینچ



گروه تخصصی:  علوم پایه

سازمان مجری:  واحد صنعتی شریف 

گروه پژوهشی: علوم پایه

پژوهشگران: 
حافظی فاطمه (مسئول طرح)
حمزه کورس (همکار طرح)
سلحشور مصطفی (همکار طرح)
زواریان علی اصغر (همکار طرح)

تاریخ خاتمه:  دی 1389

کارفرما: 

خروجی طرح: 
 
تلفن: 66005970-66031914-66024544-021

نشانی سازمان مجری: تهران، خیابان آزادی، خیابان شهید ولی اله صادقی، روبروی درب شمالی دانشگاه صنعتی شریف، پلاک 79، کدپستی
 

چکیده:

طراحی و ساخت کاتد کندوپاش مگنترون 2 اینچ، بر اساس شبیه سازی به روش اجزاء محدود و با استفاده از دانش و تجربیات کسب شده از طرح بهینه سازی کاتد مگنترون آر اف اسپاترینگ 3 اینچ (11-1253) انجام گردیده است. در این طرح با توجه به محدودیت های ابعادی کاتد و تنگناهای مربوط به دسترسی به آهنربا در بازار داخلی، ابتدا مدل سازی با درنظر گرفتن تنوع آهنرباهای موجود و بر اساس آن شبیه سازی و طراحی انجام گرفته است. در شبیه سازی از نرم افزار ANSYS استفاده شده و درآن از رهیافت الکترومغناطیس بهره گرفته شده است. سپس طرح نرم افزاری با ملاحظات مهندسی پیاده سازی گردیده است.



کلیدواژگان: مگنترون، کاتد کندوپاش، شبیه سازی میدان مغناطیسی، مصرف هدف، اجزا محدود

 
 
Title:

Design & Manufacturing of 2 Inch Magmetron Sputtering Cathode



Abstract:

Design and manufacturing of the 2 inch magnetron sputtering cathode has been done on the base of the experiences and knowledges gained in the 3 inch cathode optimization project (1253-11). In this project, dimentional limitations and the magnet market shortcoming, forced us to model the cathode, considering available magnets and simulation and also designing on the base of it. The electromagnetic approach of the ANSYS software, has been used in the magnetron simulation.



Keyword(s): magnetron, sputtering cathode, magnetic field simulation, target utility, finite element