چکیده: هدف از انجام این پژوهش طراحی یک سیستم خنک کننده مدار بسته برای تجهیزات خلاء و لایه نشانی آزمایشگاه فیزیک لایه های نازک بود تا پمپها، الکترون گان و ضخامت سنج همزمان با این سیستم به دمای کارکردشان برسند.
در این طرح ابتدا سیستم های خنک کننده مورد مطالعه و بررسی قرار گرفت. سپس با توجه به تعداد دستگاه هایی که نیاز به این سیستم داشتند و حجم آب ورودی و خروجی، سیستمی مدار بسته متناسب با دمای مورد نیاز و فشار آب خروجی طراحی شد.
یک سیستم چیلر مدار بسته با مشخصات فنی توان برودتی 2000 وات، ماکزیمم فشار آب خروجی 5 بار و قابل تنظیم، ظرفیت مخزن 50 لیتر و دمای قابل تنظیم با یک تانک دو جداره استینلس استیل طراحی گردید.
|