مشخصات مقاله عنوان نشریه: علوم پايه (دانشگاه آزاد اسلامي) : بهار 1385 , دوره 16 , شماره 59 (ويژه نامه فيزيك) ; از صفحه 12 تا صفحه 16 . عنوان مقاله: توپوگرافي سيليكن پس از بمباران توسط يونهاي كم انرژي آرگون نویسندگان: ساري اميرحسين*, قرآن نويس محمود, شكوهي علي, شريعتي معصومه, رمضاني اميرهوشنگ آدرس: * مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما، واحد علوم و تحقیقات، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ایران چکیده: موضوع تخريب تابشي سيليكن بوسيله روشهاي منسوب به پلاسما و باريكه الكتروني ساليان زيادي مورد بررسي قرار گرفته است. بهبود توپوگرافي سطح به منظور داشتن ضمختي ويژه نيز گاهي مورد علاقه مي باشد. بخصوص در آن دسته از آزمايشهايي كه بر همكنش يون با سطح بسيار به توپوگرافي سطح حساس است. در كار قبلي، جهت مطالعه اثر بمباران الكتروني روي سيليكن از چشمه الكتروني طراحي شده خود استفاده نموديم. در اين مقاله، نمونه هاي سيليكن توسط يونهاي آرگون با انرژي 30keV بصورت عمود بر سطح و دزهايي در محدوده 1016×1 تا 1017×3 آرگون بر سانتي مترمربع مورد بمباران قرار گرفتند. تغييرات توپوگرافي بوجود آمده روي سطح سيليكن، توليد تاولها و نحوه تحول آنها با تغيير دز توسط ميكروسكپ نيروي اتمي مشاهده گرديد. اندازه گيري ارتفاع متوسط نشان مي دهد كه در دزهاي بالاي 1017×3 ارتفاع بطور خطي بدليل كند و پاش كاهش مي يابد. خصوصيات اپتيكي نمونه ها نيز بعد از تابش آرگون بوسيله طيف نگار نوري UV-Vis-NIR اندازه گيري شدند. کلید واژه: توپوگرافي(Q3)سيليكن(Q3)بمباران يون آرگون(Q3)خصوصيات اپتيكي(Q3) چارک 1 این موضوع در حوزۀ علمی خود، در چارک اول تازگی است. یعنی استقبال پژوهشگران از این موضوع خیلی زیاد است. چارک 2 این موضوع در حوزۀ علمی خود، در چارک دوم تازگی است. یعنی استقبال پژوهشگران از این موضوع زیاد است. چارک 3 این موضوع در حوزۀ علمی خود، در چارک سوم تازگی است. یعنی استقبال پژوهشگران از این موضوع کم است. چارک 4 این موضوع در حوزۀ علمی خود، در چارک چهارم تازگی است. یعنی استقبال پژوهشگران از این موضوع خیلی کم است. موضوعات مرتبط: خصوصیات خاکرسته بندیمراتعسنجش از دور ارجاعات: ندارد مقالات نشریه ای مرتبط: چگونه روس ها آستان قدس رضوي را بمباران كردند؟اثرات توپوگرافي ناحيه ناهموار در ارتفاع ژئوييدبهبود جوش لايه مس، آلومينا با بمباران يونيبررسي پيامدهاي رواني - اجتماعي بمباران شيميايي بر آسيب ديدگان آن در شهر سردشت به روش کيفياثر پرتودهي باريکه يوني آرگون بر روي خواص سطحي غشاء چيتوسان مقالات همایشی مرتبط: بررسي اثر تنش هاي سطحي بر خاصيت پيزورزيستيو تراشه سيليكن و كاربرد آن در سنسورها و ترانسديوسرهاي فشاري ديافراگميمطالعه اثر بخار متانول بر سطح سيليكن متخلخل با استفاده از تبديل فوريه طيف مادون قرمزشبيه سازي فرآيند لايه نشاني سيليكن آمورف در راكتور PECVD و بررسي اثر فشار محفظه روي خواص لايه نشانده شدهبررسي وابستگي بازده کندوپاش به زواياي متفاوت برخورد يون هاي آرگون به يک لايه کربنيبررسي تغييرات مقاومت در برابر خوردگي استيل 304 با کاشت يون هاي آرگون ویدئوهای مرتبط از مکتب‌خونه چکیده انگلیسی بازدید یکساله 95 آخرین های بلاگ چگونه مجموعه داده مورد نظر خود را بیابیم؟وضعیت دانشگاه‌های ایرانی در رتبه‌بندی وبومتریکس 2020چگونه مجله‌ای مناسب برای انتشار مقاله خود پیدا کنیم؟سوالات علمی خود را از کجا بپرسیم؟مقالات محققان ایرانی در 100 مقاله برتر بر اساس آلتمتریکسپابلونز : ابزاری رایگان برای رصد مقالات علمی از وب آو ساینس ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی