4 SID.ir | <span lang="FA" style="font-size: 8pt">ساخت تركيب نانو چند لايه اي </span><span dir="LTR" style="font-size: 8pt">Ti<sub>2</sub>AIN</span><span lang="FA" style="font-size: 8pt"> از طريق كندوپاش مغناطيسي </span><span dir="LTR" style="font-size: 8pt">DC</span> Ti2AIN(Q3)dc" title="(Q3): كند و پاش مغناطيسي dc">كند و پاش مغناطيسي dc(Q3)نانوآلوميناسيون(Q3)" title="(Q3): فيلم هاي نازك">فيلم هاي نازك(Q3)" />

مشخصات مقاله

 
عنوان مقاله: 

ساخت تركيب نانو چند لايه اي Ti2AIN از طريق كندوپاش مغناطيسي DC

 
نویسندگان: 
 
آدرس:  
* مرکز تحقیقات فیزیک پلاسما، واحد علوم و تحقیقات، دانشگاه آزاد اسلامی، تهران، ‌ ایران
 
چکیده: 

شيوه و چگونگي ساخت فاز Ti2AIN در اين مقاله مورد آزمايش و بررسي قرار گرفته است. لايه هاي نازك Ti2AIN يكي از اعضاي گروه فاز Mn+1AXn (M: فلز واسطه؛ A: عنصر گروه A؛ X: كربن و يا نيتروژن؛ (n=1, 2, 3، با خواص فوق العاده سراميكي - فلزي مي باشد، رسوب گذاري لايه هاي نازك اين نيتريد سه تايي به وسيله كند و پاش مغناطيسي dc از يك هدف تركيبي Ti-Al در فضاي مخلوط گازي Al/N2 روي زير لايه هاي Ti، Si و glass انجام شد. با استفاده از پراش اشعه X و ميكروسكوپ نيروي اتمي AFM،‌ ساختار كريستالي Ti2AIN(004) حاصل شده و در ادامه خصوصيات سطح نمونه هاي مختلف مورد بررسي قرار گرفت.

 
کلید واژه: 

 
موضوعات مرتبط: 
-
 
ارجاعات: 
  • ندارد
 
 
مقالات نشریه ای مرتبط: 
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 

  چکیده انگلیسی بازدید یکساله 129
 
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی