در نتيجه نيتراسيون فولادهاي زنگ نزن به روش پلاسما در درجه حرارت پايين يک لايه سخت حاوي دو لايه (gN2 , gN1) با ساختار بلوري مکعب مرکز دار روي سطح فولاد حاصل مي شود. در مورد تشکيل زير لايه gN2 در نتيجه نفوذ همراه تنش حاصل مي شود در صورتي که گروهي ديگر معتقد هستند که زير لايه مزبور بعد از عمليات نيتراسيون در نتيجه سرد کردن آرام نمونه ها ايجاد مي شود. در مقاله حاضر دو نوع فولاد زنگ نزن در شرايط متفاوت به روش پلاسما نيتروره شده نشان داده شد که براي تشکيل زير لايه gN2 عمليات بمباران يوني تميز کاري (اکسيد زدايي) توسط مخلوطي از گازهاي آرگون و هيدروژن ضروري است. هنگام اکسيد زدايي نمونه ها، نيتروژن موجود در جداره داخلي راکتور وارد واکنش پلاسما شده، روي سطح نمونه ها جذب و در نهايت داخل آن نفوذ مي کند. اين لايه ايجاد شده بعد از عمليات نيتراسيون زير لايه gN2 را تشکيل مي دهد.