مشخصات مقاله

 
عنوان مقاله: 

مدل سازي ديناميکي منيپوليشن جهت ساخت تجهيزات ميکرو/نانو با استفاده از مدل اصطکاکي لاگره
 
نویسندگان: 
 
آدرس:  
* دانشگاه اراک، اراک
 
چکیده: 
فرايند نانومنيپوليشن با استفاده از ميکروسکوپ نيروي اتمي، از روش هايي جديد در ساخت و توليد تجهيزات مختلف در مقياس ميکرو/نانو مي باشد. اين فرايند امروزه به شدت مورد توجه محققان قرار گرفته است. به دليل دقت بسيار بالايي که در ساخت تجهيزات مقياس ميکرو/نانو وجود دارد، مدل سازي دقيق اين فرايند تاثير مهمي بر ساخت اين تجهيزات خواهد داشت. همچنين به دليل هزينه هاي بالاي استفاده از ميکروسکوپ نيروي اتمي در ساخت تجهيزات ميکرو/نانو، ضروري است که ابتدا مدل سازي اين فرايند به دقت انجام شده و سپس وارد حوزه هاي ساخت شد. تاکنون محققين بسياري به مدل سازي فرايند منيپوليشن پرداخته اند که بيشتر تحقيقات آن ها در رابطه با منيپوليشن دوبعدي و استفاده از مدل هاي ساده ي اصطکاکي صورت گرفته است. ازآنجاکه منيپوليشن واقعي در ساخت تجهيزات ميکرو/نانو در محيط سه بعدي صورت مي پذيرد و همچنين باتوجه به اين که با گذر از دنياي ماکرو به محيط ميکرو/نانو نيروهاي سطحي از جمله اصطکاک نقش مهمي دارند، لذا در اين مقاله براي اولين بار از مدل اصطکاکي دقيق لاگره در مدل سازي منيپوليشن سه بعدي استفاده شده است. نتايج به دست آمده حکايت از کاهش نيرو و زمان بحراني منيپوليشن با استفاده از مدل اصطکاکي لاگره نسبت به مدل هاي ساده ي اصطکاکي دارند، که اين امر باتوجه به اين که مدل لاگره به سطح واقعي تماس پرداخته، درحالي که ساير مدل ها سطح ظاهري تماس را دربر مي گيرند، قابل توجيه است. همچنين مقايسه نتايج سه بعدي به دست آمده با نتايج دوبعدي موجود نشان از افزايش نيرو و زمان بحراني سه بعدي داشته که باتوجه به افزايش سطح تماس دليلي بر صحت مدل سازي انجام شده مي باشد.
 
كلید واژه: 
ساخت تجهيزات ميکرو نانومنيپوليش سه بعديمدل سازي ديناميکيمدل اصطکاکي لاگره


 
موضوعات مرتبط: 
-
 
ارجاعات: 
  • ندارد
 
 
مقالات نشریه ای مرتبط: 
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 
  چکیده انگلیسی بازدید یکساله 13
 
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی