برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات مقاله

عنوان نشریه: 
 
اطلاعات شماره: 
بهار 1387 , دوره  16 , شماره  1 ; از صفحه 91 تا صفحه 98 .
 
عنوان مقاله: 

بررسي خواص فيزيکي لايه هاي نازک رسانا و شفاف اکسيد اينديم آلاييده به قلع برحسب ضخامت و دماي بازپخت در خلا

 
نویسندگان: 
 
آدرس:  
* آزمایشگاه تحقیقاتی لایه‌های نازک، گروه مهندسی برق و کامپیوتر، دانشکده فنی، دانشگاه تهران
 
چکیده: 
لايه هاي نازک اکسيد اينديم آلاييده به قلع ITO)) با ضخامتهاي مختلف 130-620 nm بر زيرلايه هاي شيشه نازک به شيوه کندوپاش RF و با استفاده از هدف سراميکي ITO (%90 wt. In2O3 و (%10 wt. SnO2 لايه نشاني و سپس در محيط خلا گرمادهي شد ند. سرشتيهاي الکتريکي و اپتيکي نمونه هاي ITO، پيش و پس از گرمادهي در دماهاي مختلف به وسيله يك سيستم اندازه گيري مقاومت چارسوزني و طيف سنج UV/VIS/IR بررسي و مقايسه شدند. ساختار بلوري لايه هاي گرمادهي شده در دماي بهينه oC  400با آناليز پراش پرتو ايکس XRD مورد مطالعه قرار گرفت. از آناليز SEM نيز براي بررسي ساختار سطحي لايه بهينه بهره گرفته شد. بررسي نتايج حاصل از آناليزها نشان مي دهد که با افزايش ضخامت لايه ها و تغيير ساختار بلوري، سرشتيهاي الکتريکي و اپتيکي ماده، نظير مقاومت سطحي، مقاومت ويژه، و شفافيت لايه ها تغيير مي کند، به طوريکه لايه 130 nm با ضخامت کمتر در دماي oC 400، داراي شفافيت 83.71%، و مقاومت ويژه2.34×10-4 Wmc  است. لايه 620 nm با شفافيت 79.7%، در oC  400کمترين مقاومت ويژه 1×10-4 Wmc » را نشان مي دهد که مي توان آن را به عنوان لايه بهينه ضخيم با مقاومت سطحي 1.6 W/ÿ براي کاربردهاي مختلف معرفي کرد.
 
کلید واژه: 

 
موضوعات مرتبط: 
 
 
مقالات نشریه ای مرتبط:  
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 
مقالات بین المللی مرتبط: 
 
ارتباط خیلی زیاد ارتباط زیاد مرتبط ارتباط کمتر
 
ارجاعات: 
  • ثبت نشده است
 
استنادات: 
  • ثبت نشده است
 
+جهت ارجاع به این مقاله کلیک کنید(Cite).
APA : کپی

معنوی زاده، ن.، و ملکی، م.، و خدایاری، ع.، و اصل سلیمانی، ا. (1387). بررسی خواص فیزیکی لایه های نازک رسانا و شفاف اکسید ایندیم آلاییده به قلع برحسب ضخامت و دمای بازپخت در خلا. بلورشناسی و کانی شناسی ایران, 16(1), 91-98. https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=76399



Vancouver : کپی

معنوی زاده نگین، ملکی محمدهادی، خدایاری علیرضا، اصل سلیمانی ابراهیم. بررسی خواص فیزیکی لایه های نازک رسانا و شفاف اکسید ایندیم آلاییده به قلع برحسب ضخامت و دمای بازپخت در خلا. بلورشناسی و کانی شناسی ایران. 1387 [cited 2022January19];16(1):91-98. Available from: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=76399



IEEE : کپی

معنوی زاده، ن.، ملکی، م.، خدایاری، ع.، اصل سلیمانی، ا.، 1387. بررسی خواص فیزیکی لایه های نازک رسانا و شفاف اکسید ایندیم آلاییده به قلع برحسب ضخامت و دمای بازپخت در خلا. بلورشناسی و کانی شناسی ایران, [online] 16(1), pp.91-98. Available: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=76399.



 

 
چکیده انگلیسی بازدید یکساله 329 مباني نظري و تجربي ونداليسم: مروري بر يافته هاي يك تحقيق
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی