برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات مقاله

عنوان نشریه: 
 
اطلاعات شماره: 
بهار 1385 , دوره  17 , شماره  1 ; از صفحه 1 تا صفحه 6 .
 
عنوان مقاله: 

لايه نشاني اكسيد قلع به روش LPCVD

 
نویسندگان: 
 
آدرس:  
* دانشکده مهندسی برق، دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی
 
چکیده: 
در اين مقاله يك سامانه ساده و كارا براي لايه نشاني اكسيد قلع به روش LPCVD ارايه شده است. سامانه داراي ويژگيهاي نويني است كه نشانش لايه هاي اكسيد قلع را در يك محفظه بسته ممكن ساخته است. در طول فرايند لايه نشاني، سامانه ورودي ندارد و كنترل پارامترهاي فرآيند لايه نشاني به آساني ميسر است. لايه اكسيد قلع از تركيب بخارهاي كلريد قلع و آب روي زير لايه شيشه اي در دماي 250°C تشكيل مي شود. منبع پيش ماده داخل محفظه واكنش تعبيه شده است و تبخير كنترل شده اجزا واكنش در داخل محفظه لايه نشاني انجام مي شود. تنظيم فشار محفظه در محدوده Torr 50-10 توسط مجموعه اي متشكل از يك پمپ روتاري و سه شير خلا، براي هر نرخ تبخير ممكن گرديده است. كليه پارامترهاي مهم فرآيند شامل نرخ تبخير، دماي زير لايه، فشار محفظه، مدت لايه نشاني و نسبت اجزاي پيش ماده قابل اندازه گيري و كنترل مي باشند. ميكروگرافهاي SEM لايه هاي بدست آمده در محدوده ضخامت nm 400 – 50 مطالعه شده است. بدون اعمال آلايش، حداكثر ضريب هدايت سطحي لايه هاي اكسيد قلع حاصل، □.moh 3- 10 است. در هدايت سطحي بيش از □.moh 4‑ 10، هدايت سطحي نمونه هاي نشانده شده با خطاي 10%± تغيير قابل تكرار بود.
 
کلید واژه: 

 
موضوعات مرتبط: 
 
 
مقالات نشریه ای مرتبط:  
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 
ارتباط خیلی زیاد ارتباط زیاد مرتبط ارتباط کمتر
 
ارجاعات: 
 
استنادات: 
  • ثبت نشده است
 
+جهت ارجاع به این مقاله کلیک کنید(Cite).
APA : کپی

صدرایی، ع.، و عروتی نیا، م.، و حسین بابایی، ف. (1385). لایه نشانی اکسید قلع به روش LPCVD. نشریه بین المللی مهندسی صنایع و مدیریت تولید (فارسی)(نشریه بین المللی علوم مهندسی), 17(1), 1-6. https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=53268



Vancouver : کپی

صدرایی علیرضا، عروتی نیا محمد، حسین بابایی فرامرز. لایه نشانی اکسید قلع به روش LPCVD. نشریه بین المللی مهندسی صنایع و مدیریت تولید (فارسی)(نشریه بین المللی علوم مهندسی). 1385 [cited 2022January17];17(1):1-6. Available from: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=53268



IEEE : کپی

صدرایی، ع.، عروتی نیا، م.، حسین بابایی، ف.، 1385. لایه نشانی اکسید قلع به روش LPCVD. نشریه بین المللی مهندسی صنایع و مدیریت تولید (فارسی)(نشریه بین المللی علوم مهندسی), [online] 17(1), pp.1-6. Available: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=53268.



 

 
چکیده انگلیسی بازدید یکساله 147 مباني نظري و تجربي ونداليسم: مروري بر يافته هاي يك تحقيق
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی