برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات مقاله

عنوان نشریه: 
 
اطلاعات شماره: 
بهار 1399 , دوره  7 , شماره  1 ; از صفحه 82 تا صفحه 89 .
 
عنوان مقاله: 

بررسی نظری تأثیر فاصله چشمه تا زیرلایه بر لایه نشانی مس به روش تبخیر حرارتی

 
نویسندگان: 
 
آدرس:  
* دانشگاه سمنان، دانشکده فیزیک، سمنان
 
چکیده: 
لایه های نازک مس به طور گسترده در حسگرهای امنیتی، حسگرهای پزشکی، صفحات خورشیدی، لیزرهای قفل شده مد، درمان سرطان و. . . . کاربرد دارند. روش تبخیر حرارتی روش مناسبی برای ایجاد لایه های نازک مس است. فاصله بین چشمه مس و زیرلایه پارامتر مهمی است که تاکنون مورد بررسی قرار نگرفته است. بنابراین در این مقاله تأثیر این کمیت بر فرایند ایجاد لایه نازک مس با روش تبخیر حرارتی به صورت نظری مورد بررسی قرار گرفته است. نتایج نشان داد که فشار بخار مس بر سطح زیرلایه، نرخ لایه نشانی و ضخامت لایه نازک با افزایش این فاصله کاهش می یابد. در حالی که میزان یکنواختی ضخامت لایه نازک با افزایش این فاصله بهبود می یابد. با افزایش فاصله از cm13 تا cm33 نرخ لایه نشانی از nm/s57/5 تا nm/s12/1 کاهش و پهنای تابع ضخامت لایه از nm56 تا nm120 افزایش می یابد. همچنین تابع وابستگی پهنای ضخامت و نرخ لایه-نشانی لایه نازک به فاصله چشمه تا سطح زیرلایه ارائه شده است تا فاصله مناسب با توجه به کاربرد لایه نازک انتخاب شود.
 
کلید واژه: 

 
موضوعات مرتبط: 
 
 
مقالات نشریه ای مرتبط:  
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 
ارتباط خیلی زیاد ارتباط زیاد مرتبط ارتباط کمتر
 
ارجاعات: 
  • ثبت نشده است
 
استنادات: 
  • ثبت نشده است
 
+جهت ارجاع به این مقاله کلیک کنید(Cite).
APA : کپی

علی پور زردکوهی، ج.، و شریعتمدار طهرانی، ف.، و علیان نژادی، م. (1399). بررسی نظری تأثیر فاصله چشمه تا زیرلایه بر لایه نشانی مس به روش تبخیر حرارتی. نانو مقیاس, 7(1 ), 82-89. https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=510677



Vancouver : کپی

علی پور زردکوهی جواد، شریعتمدار طهرانی فاطمه، علیان نژادی مریم. بررسی نظری تأثیر فاصله چشمه تا زیرلایه بر لایه نشانی مس به روش تبخیر حرارتی. نانو مقیاس. 1399 [cited 2021December01];7(1 ):82-89. Available from: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=510677



IEEE : کپی

علی پور زردکوهی، ج.، شریعتمدار طهرانی، ف.، علیان نژادی، م.، 1399. بررسی نظری تأثیر فاصله چشمه تا زیرلایه بر لایه نشانی مس به روش تبخیر حرارتی. نانو مقیاس, [online] 7(1 ), pp.82-89. Available: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=510677.



 

 
چکیده انگلیسی بازدید یکساله 83 مباني نظري و تجربي ونداليسم: مروري بر يافته هاي يك تحقيق
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی