نسخه جدید سایت SID.ir

مشخصات مقاله

عنوان نشریه: 
 
اطلاعات شماره: 
پاييز 1396 , دوره  8 , شماره  3 ; از صفحه 85 تا صفحه 92 .
 
عنوان مقاله: 

طراحي فرآيند ساخت ساده و کم هزينه جهت پياده سازي آرايه اي از تيرک هاي يک سر آزاد دو ماده اي بر اساس فناوري MEMS

 
نویسندگان: 
 
آدرس:  
* دانشکده برق، دانشگاه هوائي شهيد ستاري
 
چکیده: 
هدف اين مقاله، معرفي يک طراحي فرآيند ساخت ساده به منظور پياده سازي آرايه اي از ميکرو تيرک هاي يک سر آزاد دو ماده اي از جنس SiO2/Al است که مبتني برپايه فناوري ميکرو ماشين کاري حجمي مي باشد. به کمک اين فرآيند مي-توان تيرک هاي دوماده ائي را در آزمايشگاه هاي تحقيقاتي با امکانات محدود پياده سازي نمود. از نتايج حاصل از اين مقاله مي توان براي ساخت حساسه ها بر پايه تيرک هاي يک سر آزاد از جنس SiO2/Al استفاده نمود. بزرگ ترين مشکل فني در ساخت اين نوع از تيرک ها به روش ميکرو ماشين کاري حجمي، حفاظت از Al در داخل زدايشگرهاي سيليکون از قبيل KOH، EDP و TMAH است که در اين روش از زدايشگر سيليکون Dual doped TMAH استفاده شده است. اين فرآيند با سه عمليات ليتوگرافي يک طرفه و يک عمليات ليتوگرافي دوطرفه توسط دو ماسک کرمي و يک ماسک پلاستيکي شفاف تحقق يافته است. همچنين با استفاده از معلق سازي تيرک ها به روش رهاسازي تر در دماي محيط از پيچيدگي رهاسازي تيرک ها از لايه قرباني اجتناب شده است. با اين فرآيند، آرايه اي از تيرک هاي يک سر آزاد دو ماده-اي به طول هاي μ m50، 100، 150، 200، 250، 300، 350 و 400 و به عرض هاي μ m20 و 40 باضخامت μ m1 براي SiO2 و nm200 براي Al ساخته شده اند.
 
کلید واژه: 

 
موضوعات مرتبط: 
 
 
مقالات نشریه ای مرتبط:  
 
مقالات همایشی مرتبط: 
  • ندارد
 
طرح های مرتبط: 
 
مقالات بین المللی مرتبط: 
  • No item.
 
ارتباط خیلی زیاد ارتباط زیاد مرتبط ارتباط کمتر
 
ارجاعات: 
  • ثبت نشده است
 
استنادات: 
  • ثبت نشده است
 
+جهت ارجاع به این مقاله کلیک کنید(Cite).
APA : کپی

عبدالهی، ح. (1396). طراحی فرآیند ساخت ساده و کم هزینه جهت پیاده سازی آرایه ای از تیرک های یک سر آزاد دو ماده ای بر اساس فناوری MEMS. صنایع الکترونیک, 8(3 ), 85-92. https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=492185



Vancouver : کپی

عبدالهی حسن. طراحی فرآیند ساخت ساده و کم هزینه جهت پیاده سازی آرایه ای از تیرک های یک سر آزاد دو ماده ای بر اساس فناوری MEMS. صنایع الکترونیک. 1396 [cited 2022May21];8(3 ):85-92. Available from: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=492185



IEEE : کپی

عبدالهی، ح.، 1396. طراحی فرآیند ساخت ساده و کم هزینه جهت پیاده سازی آرایه ای از تیرک های یک سر آزاد دو ماده ای بر اساس فناوری MEMS. صنایع الکترونیک, [online] 8(3 ), pp.85-92. Available: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=492185.



 

 
چکیده انگلیسی بازدید یکساله 138 مباني نظري و تجربي ونداليسم: مروري بر يافته هاي يك تحقيق
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی