3 SID.ir | بررسي اثر پخت بر ناهمواري سطوح لايه هاي نازک ITO تهيه شده با روش تبخير با باريکه الکتروني از طريق تکنيک شمارش-جعبه
برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات مقاله

 
عنوان مقاله: 

بررسي اثر پخت بر ناهمواري سطوح لايه هاي نازک ITO تهيه شده با روش تبخير با باريکه الکتروني از طريق تکنيک شمارش-جعبه

 
نویسندگان: 
 
آدرس:  
* دانشگاه بوعلی سینا همدان، همدان، ایران
 
چکیده: 

در اين پژوهش، لايه هاي نازک اکسيد اينديوم آلاييده با قلع (ITO) به روش تبخير با باريکه الکتروني بر روي بستره هاي شيشه اي در دماي اتاق تهيه شدند. در ادامه، يکي از لايه ها به عنوان مرجع نگه داشته شد و بقيه لايه ها در دماهاي 200oC و 300oC مدت يک ساعت پخت شدند. مطالعه ساختاري و مورفولوژيکي لايه هاي نازک تهيه شده به ترتيب با تکنيک هاي پراش سنج پرتو-x و ميکروسکوپ نيروي اتمي (AFM) انجام شد. روند تکامل ساختار سطح لايه ها در طول فرايندهاي انباشت و پخت با روش هاي رياضي بررسي گرديد. بعد فرکتالي سطوح لايه هاي نازک ITO با استفاده از روش شمارش- جعبه به صورت تابعي از دماي پخت محاسبه شد. يافته ها نشان داد که پخت لايه ها باعث تغيير در ناهمواري سطح لايه هاي نازک در طول فرايند پخت مي شود.

 
کلید واژه: 

 
موضوعات مرتبط: 
 
ارجاعات: 
 
 
مقالات نشریه ای مرتبط: 
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 

  بازدید یکساله 116
 
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی