تحليل فرکتالي ويژگي هاي سطح لايه هاي نازک اکسيد اينديوم قلع

در اين تحقيق، لايه هاي نازک اکسيد اينديوم آلاييده با قلع (ITO) در ضخامت هاي مختلف به روش تبخير با پرتو الکتروني بر روي بستره شيشه اي در دماي اتاق تهيه شده است. ضخامت لايه ها 100، 150 و 250 نانومتر مي باشد. با استفاده از تحليل فرکتالي، فرآيند رشد لايه (افزايش ضخامت) بر خصوصيات مورفولوژيکي سطح در حالت آمورف مورد بررسي قرار گرفت. مشاهده شد که با افزايش ضخامت، ناهمواري سطح W(RMS) و طول همبستگي عرضي V کاهش پيدا مي کند. همچنين، نماي ناهمواري a و نماي رشد b به ترتيب برابر a=0.72±0.01 و b=0.11±0.01، به دست آمد. بر اساس اين نتايج، دريافتيم که فرآيند رشد لايه ها را مي توان به صورت ترکيبي از مدل هاي خطي EW و پخش سطحي مولينز توصيف نمود.