برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات مقاله

عنوان نشریه: 
 
اطلاعات شماره: 
بهار 1391 , دوره  12 , شماره  1 ; از صفحه 85 تا صفحه 89 .
 
عنوان مقاله: 

بررسي ورقه هاي سيليکوني (111) و مقايسه آن با زير لايه هاي سيليکوني (100)

 
نویسندگان: 
 
آدرس:  
* گروه فیزیک، دانشگاه مازندران، بابلسر، ایران
 
چکیده: 

در نانو ترنزيستورهاي دهه اخير، Si(100) به عنوان يک زيرلايه يا بستر مناسب به کار مي رود. مسائلي نظير افزايش جريان تونلي و نشتي با کاهش اندازه قطعات الکترونيکي و بويژه ترانزيستورهاي اثر ميداني سبب شده است تا امکان به کارگيري بيشتر آن مورد ترديد قرار گيرد. به همين دليل در کار حاضر تلاش شده است تا با انجام يک سري از آزمايشات و رشد فيلم هاي فرانازک بر روي هر دو زيرلايه Si(100) و Si(111) به بررسي نانوساختاري فيلم هاي مزبور پرداخته و امکان جايگزيني Si(100) با Si(111) مورد مطالعه قرار گيرد. نتايج به دست آمده در کار حاضر نشان مي دهد که Si(111) با درگاه دي الکتريک هاي نيتريدي مناسب تر است.

 
کلید واژه: 

 
موضوعات مرتبط: 
-
 
 
مقالات نشریه ای مرتبط:  
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 
ارتباط خیلی زیاد ارتباط زیاد مرتبط ارتباط کمتر
 
ارجاعات: 
  • ثبت نشده است
 
استنادات: 
  • ثبت نشده است
 
+جهت ارجاع به این مقاله کلیک کنید(Cite).
APA : کپی

بهاری، ع. (1391). بررسی ورقه های سیلیکونی (111) و مقایسه آن با زیر لایه های سیلیکونی (100). پژوهش فیزیک ایران, 12(1), 85-89. https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=205896



Vancouver : کپی

بهاری علی. بررسی ورقه های سیلیکونی (111) و مقایسه آن با زیر لایه های سیلیکونی (100). پژوهش فیزیک ایران. 1391 [cited 2021November27];12(1):85-89. Available from: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=205896



IEEE : کپی

بهاری، ع.، 1391. بررسی ورقه های سیلیکونی (111) و مقایسه آن با زیر لایه های سیلیکونی (100). پژوهش فیزیک ایران, [online] 12(1), pp.85-89. Available: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=205896.



 

 
چکیده انگلیسی بازدید یکساله 62 مباني نظري و تجربي ونداليسم: مروري بر يافته هاي يك تحقيق
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی