بررسي اثر ضخامت لايه هاي نازک بسبلوري SnO₂ در حسگري گازهاي O₂ و CO₂

در اين تحقيق سه نمونه از لايه هاي نازک اکسيد قلع خالص را که به روش اسپري پايروليزيز بر روي زيرلايه شيشه لايه نشاني شده اند مورد مطالعه قرار داديم. اينها به عنوان حسگر گازهاي اکسيژن و دي اکسيدکربن استفاده مي شوند. طيف عبوري لايه ها حاکي از نازکي لايه ها در محدوده نانومتري (150-200 nm)، و طيف XRD نشانگر تغيير سمتگيري بسبلوري از (200) به (110) مي باشد که اين تغيير سمت گيري بلوري به دليل تغيير ضخامت لايه ها مي باشد. همچنين ابعاد بلورکها از 31 تا 22.5 نانومتر کاهش يافته است. حساسيت نمونه ها نسبت به  2000 ppm از اين گازها نشان داد که دماي بهينه کاري در اين نمونه ها براي گاز اکسيژن و دي اکسيد کربن به ترتيب 170^◦C و 180^◦C مي باشد. علاوه بر اين دريافتيم نمونه با پايين ترين ضخامت (150 nm) که از کوچکترين ابعاد بلورکي (22.5 nm) برخوردار بوده و سمتگيري ترجيهي در آن (110) است و حساسيت آن براي گاز اکسيژن بيشتر از دي اکسيد کربن است.