برای اطلاع از آخرین مقالات علمی و اخبار کرونا(COVID-19) کلیک کنید

مشخصات مقاله

عنوان نشریه: 
 
اطلاعات شماره: 
1388 , دوره  - , شماره  8 ; از صفحه 59 تا صفحه 67 .
 
عنوان مقاله: 

شبيه سازي اثرات نوع آلايش و چگالي جريان در رشد سيليکان متخلخل به روش اصلاح شده انبوهش پخش محدود

 
نویسندگان: 
 
آدرس:  
 
چکیده: 

هدف از اين مقاله وارد کردن اصلاحاتي به مدل انبوهش پخش محدود مي باشد که بتواند اثرات نوع آلايش و چگالي جريان را در شکل ساختارهاي بدست آمده طي رشد سيليکان متخلخل شبيه سازي کند. براي تاثير نوع آلايش، ضريب چسبندگي و براي تاثير چگالي جريان، پارامتر ميدان متوسط را به مدل انبوهش پخش محدود اعمال کرديم. نتايج شبيه سازي نشان مي دهند که پارامتر ضريب چسبندگي در کنترل ضخامت خلل موثر است در حاليکه پارامتر ميدان متوسط ويژگي درختي يا ميله اي بودن خلل را کنترل مي کند. نتايج آن بر روي شبيه سازي رشد سيليکان متخلخل، نشان داد اصلاحات اعمال شده با تاثير اين دو پارامتر در شکل ساختارهاي شبيه سازي شده با نتايج نمونه هاي تجربي بدست آمده توافق و سازگاري دارند.

 
کلید واژه: 

 
موضوعات مرتبط: 
 
ارجاعات: 
  • ندارد
 
 
مقالات نشریه ای مرتبط:  
 
مقالات همایشی مرتبط: 
 
ارتباط خیلی زیاد ارتباط زیاد مرتبط ارتباط کمتر
 
جهت ارجاع به این مقاله کلیک کنید(Cite).
APA : کپی

مینایی فرد، س.، و ثابت داریانی، ر. (1388). شبیه سازی اثرات نوع آلایش و چگالی جریان در رشد سیلیکان متخلخل به روش اصلاح شده انبوهش پخش محدود. علوم و مهندسی سطح, -(8), 59-67. https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=102651



Vancouver : کپی

مینایی فرد سکینه، ثابت داریانی رضا. شبیه سازی اثرات نوع آلایش و چگالی جریان در رشد سیلیکان متخلخل به روش اصلاح شده انبوهش پخش محدود. علوم و مهندسی سطح. 1388 [cited 2021May12];-(8):59-67. Available from: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=102651



IEEE : کپی

مینایی فرد، س.، ثابت داریانی، ر.، 1388. شبیه سازی اثرات نوع آلایش و چگالی جریان در رشد سیلیکان متخلخل به روش اصلاح شده انبوهش پخش محدود. علوم و مهندسی سطح, [online] -(8), pp.59-67. Available: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=102651.



 

 
بازدید یکساله 58 مباني نظري و تجربي ونداليسم: مروري بر يافته هاي يك تحقيق
 
آخرین های بلاگ
ورود به بلاگ مرکز اطلاعات علمی