اندازه گيري نماي فراواني فسفر كشت شده فراسطحي در سيليسيوم

بلوري زاده محمد; ميچل ايان

مشخصات مقاله

عنوان نشریه:

پژوهش فيزيك ايران

اطلاعات شماره:

تابستان 1383 , دوره 4 , شماره 2 ; از صفحه 109 تا صفحه 116 .

عنوان مقاله:

اندازه گيري نماي فراواني فسفر كشت شده فراسطحي در سيليسيوم

نویسندگان:

بلوري زاده محمد, ميچل ايان

آدرس:

چکیده:

مطالعه اي را براي به دست آوردن نماي فراواني فسفر(مقدار فسفر بر حسب عمق از سطح) فراسطحي و به منظور تکميل مطالعات مشابه درمورد بر(B) شروع کرده‌ايم. کشت فراسطحي فسفر و بر، از نظر مطالعه، طراحي و ساخت تراشه هاي الکترونيک با چگالي زياد اهميت فراوان دارند. در اين مقاله، گزارشي از چگونگي اندازه گيري نماي فراواني فسفر با استفاده از ترکيب طيف نگاري جرمي، زمان پرواز يون ثانويه (TOF-SIMS) و تجزيه فرايند هسته اي 31P(α,P)34S تهيه شده است. با اين که سطح مقطع اين فرايند هسته اي کوچک است، امکان محسبه مقدار مطلق فسفر کشت شده در سيليسيوم در عمق کمتر از nm 20 را ايجاد نموده ايم. به اين منظور دو مجموعه از نمونه هاي سيليسيوم را که درآن فسفر کشت شده بود تهيه کرديم. در يک مجموعه از نمونه ها، فسفر به مقدار 1´1014cm-2 تا 3´1015cm-2 با انرژي 8keV و در مجموعه نمونه دوم فسفر به مقدار 1´1013cm-2 تا 1´1015cm-2 با انرژي keV 1 تا keV 30 کشت شده است. در اين مطالعه اثري از کنش خود به خودي ديده نشد.

کلید واژه:

نماي فراواني عمق، كنش خودبه خودي، فسفر، اينديوم ، سيليسيم RBS(Q4)NRA(Q4)SIMS(Q3)

چارک 1 این موضوع در حوزۀ علمی خود، در چارک اول تازگی است.
یعنی استقبال پژوهشگران از این موضوع خیلی زیاد است.
چارک 2 این موضوع در حوزۀ علمی خود، در چارک دوم تازگی است.
یعنی استقبال پژوهشگران از این موضوع زیاد است.
چارک 3 این موضوع در حوزۀ علمی خود، در چارک سوم تازگی است.
یعنی استقبال پژوهشگران از این موضوع کم است.
چارک 4 این موضوع در حوزۀ علمی خود، در چارک چهارم تازگی است.
یعنی استقبال پژوهشگران از این موضوع خیلی کم است.

موضوعات مرتبط:

Ft-Ir ازت الگوی Inca-N پتاسیم پسته (پلی سیتمی تقسیط جنین پیش لانه گزینی سدیم سلولهای بنیادی جنینی سیلیکون متخلخل غشای پایه گلومرولی کلاژن نوع Iv لیزر پالسی مگاکاریوسیت

مقالات نشریه ای مرتبط:

مقالات همایشی مرتبط:

طرح های مرتبط:

مقالات بین المللی مرتبط:

ارتباط خیلی زیاد ارتباط زیاد مرتبط ارتباط کمتر

ارجاعات:

ثبت نشده است

استنادات:

ثبت نشده است

+جهت ارجاع به این مقاله کلیک کنید(Cite).

APA : کپی

بلوری زاده، م.، و میچل، ا. (1383). اندازه گیری نمای فراوانی فسفر کشت شده فراسطحی در سیلیسیوم. پژوهش فیزیک ایران, 4(2), 109-116. https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=14914

Vancouver : کپی

بلوری زاده محمد، میچل ایان. اندازه گیری نمای فراوانی فسفر کشت شده فراسطحی در سیلیسیوم. پژوهش فیزیک ایران. 1383 [cited 2022May21];4(2):109-116. Available from: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=14914

IEEE : کپی

بلوری زاده، م.، میچل، ا.، 1383. اندازه گیری نمای فراوانی فسفر کشت شده فراسطحی در سیلیسیوم. پژوهش فیزیک ایران, [online] 4(2), pp.109-116. Available: https://www.sid.ir/fa/journal/ViewPaper.aspx?id=14914.